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Elektrochemische Messungen an durch PVD-Verfahren erzeugten Oxidschichten Rutilius Taurus Aemilianus Als Hauptmotiv werden dabei dieInhaltsangabe: Problemstellung: An der Darstellung dnner Schichten bestehend aus (dotiertem) Zinn(IV) Oxid besteht bereits seit drei Jahrzehnten ein groes Interesse, weil transparente, n halbleitende Oberflchen hergestellt werden knnen (TCO transparent conductive oxides). Reines, stchiometrisches Zinndioxid (SnO2) ist ein Isolator. Ziel der Herstellungsverfahren ist es also, einerseits Schichten mit geringem Sauerstoff Unterschu zu erzeugen (SnO2 ?),